超纯水设备工艺技术与传统的蒸馏法相比较，超纯水设备用反渗透法为基础再联合了i新电去离子(EDI)技术的i新工艺具有明显的优越性和***性.节能。主要有多级蒸馏、高压分级蒸馏和离心净化蒸馏几种工艺。所有蒸馏方法均在120°C高温状态下进行，所以可以得到完全无菌的水。因此，运行当中能源的消耗相当大;同时因为温度较高，所有设备组成部分必须耐受高温冲击，超纯水设备价格，设备的造价及维护费用高昂。反渗透技术结合臭氧消毒方法，整个系统工作于常温、低压状态，设备投资省，运行维护费用低，可靠节能：膜处理法的运行成本仅为蒸馏方法的12-15%，超纯水，非常经济，***竞争力。

当活性碳过滤器因截留过量的机械杂质而影响其正常工作，超纯水求购，则可用反冲洗的方法来进行清洗。利用逆向进水，使过滤器内砂滤层松动，可使粘附于滤料表面的截留物剥离并被反冲水流带走，有利于排除滤层中的沉渣、悬浮物等，并防止滤料板结，使其充分恢复截污、从而达到清洗的目的。反洗以进出口压差参数设置来控制反冲洗周期，一般为三至四天，具体须视原水浊度而定。国活性炭罐的设计与石英砂基本相同。

预处理在纯水制备中起到保护作用。在选用预处理方式时，首先要了解原水水质。比如，如果原水是河水，根据其特性，其预处理可选用蓄水池+絮凝沉淀力池+杀菌消毒池+纤维球高i效过滤器+活性炭过滤器+保安过滤器。而原水硬度较高的情况下，需要添加软化器。对于一些特殊的厂家，其原水选用为锅炉较化水的，一般可以采用一个保安滤器后直接进入RO系统，还有，比较冷的地区《持续一个月温度大10C)，建议使用板式换热器。对于寒冷地区的预处理罐的选抒K也应慎重。